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硅片清洗废水处理方法都有哪些优势

文章来源:污水处理技术 作者:污水处理技术 时间:2019-11-08 14:34:05

  目前,行业中单多晶硅块及硅片的生产环节基本都是利用多线切割方式实现的,即高速运行的钢线携带含有SiC颗粒的砂浆把硅锭切割成硅块和把硅块切割成硅片,可想而知完成切割的硅块和硅片表面上沾满了砂浆,所以要进行后续加工,需要用大量的水进行喷淋冲洗操作,把沾满砂浆的硅块和硅片进行预处理,用水量极大。

  采用硅片清洗废水处理方法中的废水循环利用法与系统,以减小现有技术中单多晶硅片制造需要消耗大量自来水的问题。

  1、水质分类,合理优化资源

  根据多晶硅片制造过程中各用水环节对水质的要求,将用水环节分成高等水质用水环节、中等水质用水环节、和低等水质用水环节。将高等水质用水环节排出的废水进行净化处理,然后作为中等水质用水环节和低等水质用水环节的用水。

  2、增加沉淀池和过滤器,对水要求进行划分

  根据本方法的另一个方面,还提供了一种废水循环利用系统,应用于单多晶硅片制造,该系统包括:第一级沉淀池,第二级沉淀池,过滤器。

废水处理

  3、通过传感器增加灵敏度

  本方法提供的系统,还包括控制器,滤后储水槽内由高至低设置有第一高液位传感器、第一中液位传感器和第一低液位传感器三个液位传感器。

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